真空气氛炉系列常用的有真空、氢、氧、氮和惰性气体等各种气氛。例如透明氧化铝陶瓷可用氢气氛烧结，透明铁电陶瓷宜用氧气氛烧结，氮化物陶瓷如氮化铝等宜用氮气氛烧结。广泛用于陶瓷、冶金、电子、玻璃、化工、机械、耐火材料、新材料开发、特种材料、建材等领域的生产及实验。
有时为保护烧结调协也须在保护气氛中操作。如钼丝炉宜通氢，钨丝炉宜在真空条件下工作。
真空气氛炉系列是真空技术与热处理技术相结合的新型热处理技术，真空热处理所处的真空环境指的是低于一个大气压的气氛环境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空热处理实际也属于气氛控制热处理。
真空热处理是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的，真空热处理可以实现几乎所有的常规热处理所能涉及的热处理工艺，但热处理质量大大提高。
与常规热处理相比，真空热处理的同时，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。
真空气氛炉系列保护气体替换清洗法：
1.保护气体一般应在气氛炉升温前通入炉内；
2.保护气体可通过上、下、后三个洗炉口通入，应将排气口的针阀开至zui大，以利于炉内空气尽快排出；
3.一般向炉内通入炉膛容积10倍左右的保护气体，可使炉内氧浓度降至10ppm左右；
4.当炉内氧浓度符合产品工艺要求时，可将排气口的针阀关小，以节约保护气,关闭洗炉口,由进气口通过流量计进入；
5.在气氛炉使用过程中，炉膛内必须维持正压，以防炉外空气进入炉膛。
